Влияние вакансий на распределение атомных ступеней на поверхности кремния (111)
0000-0002-4016-593Х Материал поступил в редколлегию 13.04.2007
Методом in situ сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии исследованы структурные и морфологические трансформации поверхности кремния (111) в условиях повышенной концентрации поверхностных вакансий, сформированных в процессе термического травления кремния молекулярным кислородом. Измерены скорости смещения атомных ступеней при различных давлениях кислорода в сверхвысоковакуумной камере. Проанализировано влияние поверхностных вакансий на диффузию адатомов по поверхности кристалла в условиях воздействия внешнего электрического поля.Источник финансирования:
Работа частично поддержана РФФИ (грант № 07-02-01003) и Научной школой НШ 8401.2006.8.
Авторы выражают благодарность Е. Е. Родякиной и Д. В. Щеглову за помощь в проведении экспериментов
УДК 539.211.537.533
Влияние вакансий на распределение атомных ступеней на поверхности кремния (111) Выходные данные: Косолобов С. С., Латышев А. В. Влияние вакансий на распределение атомных ступеней на поверхности кремния (111). Журнал Вестник НГУ. Cерия Физика. 2007. Том 2, № 2. C. 40–50. DOI: 10.54238/1818-7994-2007-2-2-40-50