Атомные ступени на поверхности кремния как тест-объект высоты в атомно-силовой микроскопии

Для обеспечения единства измерений в нанотехнологиях разработан тест-объект для прецизионной калибровки z-координаты атомно-силового микроскопа в суб- и нанометровом диапазонах с точностью до 0,05 нм на основе системы атомных ступеней, высотой в одно межплоскостное расстояние, на вицинальной поверхности кремния. Предельно высокая точность тест-объекта обеспечена за счет сравнения его значения с параметром атомной решетки совершенного кристалла.

Ключевые слова:
атомно-силовая микроскопия, метрология, сертификация, атомные ступени, поверхность. 
Благодарности:
Представленные результаты получены при выполнении интеграционных проектов Сибирского отделения РАН, ФЦП программ Министерства образования и науки РФ «Приоритетные направления развития науки и техники в РФ на 2007–2012 гг.», проектов Российского фонда фундаментальных исследований. Авторы выражают благодарность С. С. Косолобову и Е. Е. Родякиной за помощь в подготовке образцов и проведении эксперимента, Л. И. Фединой и А. К. Гутаковскому за любезно представленную микрофотографию высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии
УДК 53.083.98
PACs 06.20.fb, 68.37.Ps, 68.47.fg

Атомные ступени на поверхности кремния как тест-объект высоты в атомно-силовой микроскопии