Разработка и применение неохлаждаемых матричных микроболометров для терагерцового диапазона
Подробнее
Ключевые слова:
неохлаждаемый микроболометр, оксид ванадия, терагерцовый диапазон, поляризация, чувствительность, микро-антенна, лазер на свободных электронах
УДК 535.231.62: 535-14: 535-45
Разработка и применение неохлаждаемых матричных микроболометров для терагерцового диапазона
Материал поступил в редколлегию 25.09.2010
Представлены экспериментальные результаты исследования возможностей дальнейшего повышения чувствительности неохлаждаемых микроболометров в терагерцовом диапазоне путем использования дополнительного тонкого металлического поглощающего слоя, наносимого на мембрану микроболометра. Экспериментально показано, что указанная модификация конструкции микроболометра приводит к повышению его чувствительности в несколько раз. Обнаружена сильная зависимость чувствительности микроболометров от угла поляризации терагерцового излучения. Показано, что чувствительность микроболометров в терагерцовом диапазоне обусловлена поглощением излучения в узких металлических шинах, идущих по ножкам микроболометров, и в полосках, выполняющих роль омического контакта к термочувствительному слою.Ключевые слова:
неохлаждаемый микроболометр, оксид ванадия, терагерцовый диапазон, поляризация, чувствительность, микро-антенна, лазер на свободных электронах
УДК 535.231.62: 535-14: 535-45
Разработка и применение неохлаждаемых матричных микроболометров для терагерцового диапазона Выходные данные: Демьяненко М. А., Есаев Д. Г., Овсюк В. Н., Фомин Б. И., Марчишин И. В., Алиев В. Ш., Князев Б. А., Герасимов В. В., Кулипанов Г. Н., Винокуров Н. А., Литвинцев В. И. Разработка и применение неохлаждаемых матричных микроболометров для терагерцового диапазона. Журнал Вестник НГУ. Cерия Физика. 2010. Том 5, № 4. C. 73–78. DOI: 10.54362/1818-7919-2010-5-4-73-78