Электромиграция адатомов кремния на поверхности кремния (111)

Методами in situ сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии и ex situ атомно-силовой микроскопии показано существование градиента концентрации адатомов по поверхности между эшелонами ступеней в условиях сублимации, гомоэпитаксиального роста и квазиравновесия на поверхности кремния (111) при температурах выше 900 ºС. Экспериментально подтверждено наличие у адатомов отрицательного (при 1 100 ºС) и положительного (при 1 300 ºС) эффективного заряда. Установлено, что знак эффективного заряда не зависит от величины пересыщения на поверхности. На основе полученных экспериментальных данных приведена оценка величины эффективного заряда адатома при 1 280 ºС, составившая от 0,07 ± 0,01 до 0,17 ± 0,02 от величины заряда электрона.

Ключевые слова:
атомные ступени, поверхность кремния, электромиграция, эффективный заряд адатома
Источник финансирования:
Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант № 10-02- 01011) и грантов Министерства образования и науки
УДК 539.211.537.533

Электромиграция адатомов кремния на поверхности кремния (111)