Формирование и свойства нанопериодических многослойных структур Si/SiO2, полученных в плазмохимическом реакторе индукционного типа

Подробнее Созданы многослойные нанопериодические структуры (МНС) с чередующимися сверхтонкими слоями SiO₂ и аморфного кремния (α-Si:H) и исследованы их свойства. Структуры были получены путем многократного повторения циклов осаждения пленок α-Si:H с последующим их частичным окислением в плазме кислорода. Свойства полученных структур проанализированы с помощью электронной микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света, фотолюминесценции и электрофизических измерений.

Ключевые слова:
многослойные нанопериодические структуры, сверхтонкие пленки SiO₂, плазмохимическое осаждение, зарядка состояний в диэлектрике
Источник финансирования:
Исследования выполнены при поддержке ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009–2013 гг. (№ П1283) и РФФИ (№ 09-07-00248а). Авторы выражают благодарность А. Г. Черкову за проведение исследований структур с помощью электронной высокоразрешающей микроскопии
УДК 621.315.592

Формирование и свойства нанопериодических многослойных структур Si/SiO2, полученных в плазмохимическом реакторе индукционного типа