Формирование интенсивных кластерных пучков аргона для технологических процессов
Подробнее
Ключевые слова:
сверхзвуковая струя, конденсация, молекулярный пучок, кластеры, ионизация
УДК 533.6.011.8 + 533.599 + 544.277.4 + 544.277.6 + 536.423.4
Формирование интенсивных кластерных пучков аргона для технологических процессов
0000-0002-1973-5088 Материал поступил в редколлегию 23.03.2012
Произведена модернизация экспериментального комплекса ЛЭМПУС-1. Выполнены экспериментальные исследования формирования кластерных пучков аргона для создания технологического процесса ионно-кластерной модификации материалов. Получены кластерные пучки с интенсивностью до 5 · 1014 кластеров/см2·с при среднем размере кластеров 1 300. Найдены оптимальные условия формирования кластерного молекулярного пучка.Ключевые слова:
сверхзвуковая струя, конденсация, молекулярный пучок, кластеры, ионизация
УДК 533.6.011.8 + 533.599 + 544.277.4 + 544.277.6 + 536.423.4
Формирование интенсивных кластерных пучков аргона для технологических процессов Выходные данные: Коробейщиков Н. Г., Зарвин А. Е., Каляда В. В., Ходаков М. Д. Формирование интенсивных кластерных пучков аргона для технологических процессов. Журнал Вестник НГУ. Cерия Физика. 2012. Том 7, № 2. C. 85–92. DOI: 10.54362/1818-7919-2012-7-2-85-92