Особенности дифракции электромагнитных волн на регулярно-периодических индуктивных металлических структурах

Рассмотрены ключевые положения электродинамики планарных металлизированных микроструктур с регулярно-периодическим топологическим рисунком индуктивного типа, ориентированных на использование в качестве частотно-селективных фильтров терагерцового диапазона. Рассмотрение проведено на примере низкои высокоаспектных структур с топологией дипольных щелей. Анализ спектральных характеристик таких структур при различных толщинах и размерах щелевых ячеек осуществлен на основе компьютерного моделирования с использованием полноволнового электродинамического симулятора ANSYS HFSS™. По итогам данного моделирования обсуждены электродинамические особенности структур, изготовленных методами LIGA-технологии в Сибирском центре синхротронного и терагерцового излучений. Представленные результаты могут быть использованы при разработке микроструктурных фильтров с оптимизированными частотно-селективными характеристиками.