Электрокинетический сенсор потока жидкости

Работа посвящена созданию и характеризации сенсора потока жидкости, работающего на основе электрокинетического эффекта – потенциала течения. Продемонстрирована возможность применения кремниевых микроканальных мембран в качестве чувствительного элемента такого потенциалометрического сенсора. В экспериментах с использованием деионизованной воды определен электрический отклик сенсора на прохождение жидкости через мембрану. Установлена линейная зависимость рабочей характеристики электрокинетического устройства, определена чувствительность и сделана оценка быстродействия. Предложена конструкция сенсора, оптимальная для применения в микрофлюидных системах.