Анализ изменения элементного примесного состава при получении нанопорошка диоксида кремния методом испарения электронным пучком

Труфанов Дмитрий Юрьевич
1. Институт теоретической и прикладной механики им. С. А. Христиановича СО РАН Новосибирск, Россия
2. Новосибирский государственный университет Новосибирск, Россия
trufanov@itam.nsc.ru
Завьялов Алексей Павлович
1. Институт теоретической и прикладной механики им. С. А. Христиановича СО РАН Новосибирск, Россия
2. Новосибирский государственный университет Новосибирск, Россия
Zav_Alexey@list.ru
Зобов Константин Владимирович
1. Институт теоретической и прикладной механики им. С. А. Христиановича СО РАН Новосибирск, Россия
2. Новосибирский государственный университет Новосибирск, Россия
zobov.kv@gmail.com
Материал поступил в редколлегию 04.03.2018
Работа посвящена анализу изменения элементного примесного состава при производстве нанопорошка методом испарения электронным пучком. Решена задача оценки условий в зоне испарения исходного вещества. Приведено теоретическое обоснование методики оценки условий испарения высокочистого кварцевого песка при получении нанопорошка диоксида кремния методом испарения электронным пучком. Оценка температуры испарения по изменению концентраций алюминия и титана составила 2493 K. Проведены экспериментальные измерения и сравнение элементного примесного состава испаряемого вещества и полученного нанопорошка для двух образцов диоксида кремния.

Ключевые слова:
получение нанопорошков, испарение, диоксид кремния, примеси, электронный пучок
Источник финансирования:
Работа поддержана грантом РФФИ № 16-31-60076
УДК 538.9:621.002.3

Анализ изменения элементного примесного состава при получении нанопорошка диоксида кремния методом испарения электронным пучком
Выходные данные: Труфанов Д. Ю., Завьялов А. П., Зобов К. В., Сызранцев В. В., Бардаханов С. П. Анализ изменения элементного примесного состава при получении нанопорошка диоксида кремния методом испарения электронным пучком. Сибирский физический журнал. 2018. Том 13, № 2. C. 53–60. DOI: 10.25205/2541-9447-2018-13-2-53-60