Модификация оптических свойств поверхностей методом напыления под скользящими углами

Подробнее Рассматриваются оптические свойства и структура тонких пленок диоксида титана, сформированных методом напыления под скользящими углами. Было показано, что данный метод позволяет формировать покрытия, имеющие существенно меньший показатель преломления, чем у первоначального материала. Так, экспериментально полученное значение показателя преломления тонких пленок диоксида титана составило ~ 1,2, что почти в два раза меньше, чем у поликристаллического материала. Это позволяет использовать данный метод для нанесения покрытий с переменным показателем преломления с использованием всего одного материала, изменяя только геометрию процесса напыления.

Ключевые слова
напыление под скользящими углами, диоксид титана, оптические параметры, эллипсометрия
Благодарности
Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ и Новосибирской области в рамках научного проекта № 19-42-540009 p_a. В работе использовалось оборудование ЦКП «СЦСТИ» на базе УНУ «Комплекс ВЭПП-4 – ВЭПП-2000» в ИЯФ СО РАН, поддержанное проектом RFMEFI62119X0022. Получение СЭМ изображений и эллипсометрические исследования проводились с использованием оборудования ЦКП «ВТАН» НГУ
УДК 535.5, 535.016

Модификация оптических свойств поверхностей методом напыления под скользящими углами