6. Квантовая оптика, квантовая электроника

Создание методами LIGA-технологии микроструктурных фильтров субтерагерцового диапазона и исследование их селективных свойств

Кузнецов Сергей Александрович
Scopus Author ID: 56426776500
Researcher ID: A-6723-2014
1. Новосибирский государственный университет Новосибирск, Россия
2. Новосибирский филиал Института физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук «КТИПМ» Новосибирск, Россияи наук Новосибирск, Россия
serge_smith@ngs.ru
Генцелев Александр Николаевич
1. Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН Новосибирск, Россия
Гольденберг Борис Григорьевич
1. Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН Новосибирск, Россия
Материал поступил в редколлегию 24.09.2012
В работе рассмотрены особенности применения методов LIGA-технологии при создании квазиоптических фильтров субтерагерцового диапазона на основе самонесущих микроструктур металлического и псевдометаллического типов. С учетом этих особенностей в Сибирском центре синхротронного и терагерцового излучений (СЦСТИ, ИЯФ СО РАН) изготовлены низко- и высокоаспектные индуктивные микроструктуры с топологией дипольных щелей, которые послужили селективными элементами в полосовых пропускающих фильтрах для интервала частот 0,25–0,45 ТГц. С использованием техники ЛОВ-спектроскопии проведена характеризация частотноселективных свойств изготовленных фильтров. Показано хорошее согласие полученных экспериментальных данных с результатами численного моделирования.

Ключевые слова:
LIGA-технология, микроструктуры, квазиоптические фильтры, частотно-избирательные поверхности, субтерагерцовое излучение, ЛОВ-спектроскопия
Источник финансирования:
Технологическая работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки России с использованием оборудования ЦКП СЦСТИ. Авторы признательны сотрудникам комплекса ВЭПП-3 за обеспечение возможности работ с СИ. Выполнение электродинамических вычислений, а также измерения на субтерагерцовом ЛОВспектрометре осуществлены при поддержке гранта 11.G34.31.0033 Правительства РФ, а также контракта 16.740.11.0377 Федеральной рамочной программы
УДК 539.1.044, 537.86.029.65/.79

Создание методами LIGA-технологии микроструктурных фильтров субтерагерцового диапазона и исследование их селективных свойств
Выходные данные: Кузнецов С. А., Генцелев А. Н., Гольденберг Б. Г., Кондратьев В. И., Аржанников А. В., Тумм М. К. А., Зелинский А. Г. Создание методами LIGA-технологии микроструктурных фильтров субтерагерцового диапазона и исследование их селективных свойств. Журнал Вестник НГУ. Cерия Физика. 2012. Том 7, № 4. C. 25–42. DOI: 10.54362/1818-7919-2012-7-4-25-42